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质量流量传感器校准测试系统
MEMS 传感器 校准测试 温度试验 并行测试
质量流量传感器校准测试系统
行业方案
测试需求

传感器是获取信息的关键手段,是现代化自动化生产的基础,质量流量传感器用于测量介质的质量流量,在工业控制、能源计量及节能管理中大量应用,覆盖石化、食品、饮料、炼油、药品、造纸等领域,随着科技与工业的发展促使传感器品质要求日益严苛,这也给生产商带来巨大的挑战。


系统优势
快速精确的温度环境仿真
快速精确的温度环境仿真
系统可实现 -20℃~110℃ 宽温域精确控制(精度±1℃,波动±0.2℃)。优化温控算法提速降超调;三体集成结构隔热防热量损失,保障精度与安全;
良好的气路密封与精准流量控制
良好的气路密封与精准流量控制
钢质气管确保密封性,少接头设计泄漏率浮动小于0.012sccm。稳定装置和高精度校准保证流量控制精度达±1sccm;
高测试效率
高测试效率
系统结合快速温控与串并联气路设计,4个DUT串联共用资源,8路并联测32个DUT,确保达到160 DUTs/h的生产节拍,实现高效低成本;
稳定可靠运行
稳定可靠运行
GRR实验数据良好,校准200sccm量程传感器时不同流量点下GRR数据均<10%;
便于维护
便于维护
设计独特探针模块获取信号,模块可整体更换;气路装拆方便;指示灯直观显示继电器状态;
安全机制
安全机制
智能流程判断;提供急停等安全操作机制,在突发状况下保护人员及设备。
系统架构

系统由热流机、校准验证平台以及终检测试平台等三大部分组成,其中热流机提供封闭的测试腔体,可保证对温度的精准控制;校准验证平台用于实现产品的校准、验证测试,校准流程以及算法文件的导入及用户自定义配置;终检测试平台则用于产品的整体终检测试序列的实现,由于可实现多个传感器的并行测试。另外,该系统软件提供灵活的登录模式及权限级别设定,可自动生成测试日志等,极大适应了生产测试中的应用,操作灵活且便于扩展


系统指标

指标

系统指标

流量范围

0~1000sccm/0~200sccm可选

节拍

160件/小时,32件并行测试

物理尺寸

(W×D×H)

温控箱外形尺寸:2300×1430×1960mm

热流机外形尺寸: 610×991×1303mm(Max.)

(热流机与温控箱距离不超过2m)

运行环境

运行环境

温度:0~50℃;湿度:35%~80%

供电要求

AC 220V,50Hz

校准平台、热流机供电


AC 380V,50Hz

温控箱供电

供气要求

2.0bar

校准供气,干燥、纯净的氮气


5.0bar

气缸供气,干燥的压缩空气


90~100psi

热流机供气,干燥的压缩空气


系统主要配置
14 槽PXI 机箱
14 槽PXI 机箱
4×32 矩阵开关卡
4×32 矩阵开关卡
多功能隔离数据采集卡
多功能隔离数据采集卡
32 通道电压/ 电流输出卡
32 通道电压/ 电流输出卡
GPIB 通信卡
GPIB 通信卡
21 槽FLU 负载控制机箱
21 槽FLU 负载控制机箱
16 通道负载卡
16 通道负载卡
80 通道 2A 故障注入卡
80 通道 2A 故障注入卡
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